光学薄膜在线宽光谱膜厚控制仪

作     者：张诚 卢维强 王涌天 郝群 

作者机构：北京理工大学信息工程学院光电工程系北京100081 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：2003年第24卷第Z1期

页      码：85-87页

摘      要：本文介绍了一种高性能的实时宽光谱膜厚控制仪的设计与制作 ,详细介绍了该系统的工作方式及设计思想。实验表明该系统可以用于光学薄膜在线实时监控和光学薄膜光谱特性检测 。

主 题 词：膜厚监控 在线监控 光学薄膜 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0254-3087.2003.z1.028

馆 藏 号：203284664...