单晶硅微压传感器的研制

作者机构：六二五所三室传感器组 

出 版 物：《航空学报》 (Acta Aeronautica et Astronautica Sinica)

年 卷 期：1979年第9卷第4期

页      码：104-112页

摘      要：风洞测压及实现自动检测、自动控制,急需提供高精度、测量微压的压力传感器。本文介绍一种利用单晶硅压阻效应研制成的微压传感器。其特点是精度高、灵敏度高,适用于对不同参考压力的测量。文中简介传感器的工作原理、技术指标,着重讨论微压传感器的设计、工艺特点。

主 题 词：微压传感器 风洞 硅膜片 硅环 压力传感器 压阻系数 压阻效应 

学科分类：08[工学] 081101[081101] 0811[工学-水利类] 081102[081102] 

馆 藏 号：203285217...