微压传感器的设计分析

作     者：张久惠 沈桂芬 杨学昌 

作者机构：辽宁大学物理系 

出 版 物：《辽宁大学学报（自然科学版）》 (Journal of Liaoning University：Natural Sciences Edition)

年 卷 期：1988年第15卷第3期

页      码：26-32页

摘      要：本文分析了压阻式扩散硅压力传感器的设计原理:对微压传感器的关键问题提出了各向异性腐蚀,掺高浓度硼停止腐蚀;用E型杯代替C型杯的设计,初步研制了量程小于1000mm水柱高,精度小于0.5%的微压传感器。

主 题 词：微压传感器 压阻式 压力传感器 设计分析 设计原理 线性度 非线性误差 零点输出 选择性腐蚀 晶向 

学科分类：08[工学] 081101[081101] 0811[工学-水利类] 081102[081102] 

馆 藏 号：203285300...