W波段含非谐振节点的MEMS波导带通滤波器

作     者：肖红 陈婧 段俊萍 张斌珍 Xiao Hong;Chen Jing;Duan Junping;Zhang Binzhen

作者机构：中北大学电子测试技术重点实验室太原030051 中国航天科工集团第二研究院706所北京100854 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51475438,61401405) 国家自然科学基金联合基金重点支持项目(U1637212) 山西省自然科学基金资助项目(201401021-4) 山西省回国留学人员科研资助项目(2014-005) 山西省人社厅留学项目(20150603ZX) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2018年第55卷第5期

页      码：327-332页

摘      要：设计了一款含有一个非谐振节点的W波段矩形波导带通滤波器,实现了其传输函数中传输零点可任意放置的功能。滤波器包括一个T型结波导结构、两个TE（101）模谐振腔和四对电感膜片。其中T型结波导结构中连接了一个TE（101）模谐振腔,能够产生一个传输零点,通过调整该谐振腔的结构参数尺寸,能够独立地控制传输零点的位置。使用Ansoft HFSS软件对滤波器整体结构参数进行仿真和分析,将传输零点放置在通带的任意一侧,提高了滤波器的带外抑制。使用微电子机械系统（MEMS）工艺对传输零点在通带低频端的滤波器原型进行加工并测试,测试结果与仿真结果总体上吻合良好。

主 题 词：带通滤波器 非谐振节点 传输零点 矩形波导 微电子机械系统(MEMS) 

学科分类：080902[080902] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.13250/j.cnki.wndz.2018.05.005

馆 藏 号：203285573...