基于365nm LED的数字光刻照明系统匀光设计

作     者：梁庆九 周金运 LIANG Qingjiu, ZHOU Jinyun

作者机构：广东工业大学物理与光电工程学院广东广州510006 

基　　金：国家自然科学基金 61475037 2016广东省科技发展专项资金 2016B090918124~~ 

出 版 物：《量子电子学报》 (Chinese Journal of Quantum Electronics)

年 卷 期：2018年第35卷第2期

页      码：225-229页

摘      要：在数字光刻照明系统中,利用复眼透镜对365 nm发光二极管(LED)进行了匀光设计,透镜阵列采用近六边形的排列方式,能基本覆盖圆形光。近六边形阵列相对于方形结构能减少无效透镜数量,能更有效地利用透镜发挥匀光效能.用软件分别仿真了近六边形、9×9方形透镜的照明系统,并对比了其照度图,结果表明使用近六边形阵列的照明系统照度更为均匀.用近六边形阵列设计的照明系统与数字微反射镜(DMD)、光刻镜头相结合,进行了2μm精度的数字光刻实验,其像面照度均匀,线条清晰.

主 题 词：均匀照明 复眼透镜阵列 光学设计 365nm发光二极管 数字光刻 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-5461.2018.02.015

馆 藏 号：203285728...