半导体设备中的抗干扰技术

作     者：路孟喜 刘德明 LU Meng-xi;LIU De-ming

作者机构：中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2007年第36卷第6期

页      码：40-43页

摘      要：简要分析半导体设备中干扰产生的原因、危害及一般抗干扰的原则;从干扰形成的三要素入手,重点介绍半导体设备设计、制造及维修中一些行之有效的抗干扰的方法。

主 题 词：干扰源 干扰途径 干扰易受体 抗干扰措施 

学科分类：11[军事学] 080904[080904] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 110503[110503] 0810[工学-土木类] 1105[1105] 1104[1104] 082601[082601] 081105[081105] 0826[工学-生物医学工程类] 081001[081001] 081002[081002] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-4507.2007.06.010

馆 藏 号：203286140...