一种光强差分调制MOEMS加速度计

作     者：韩兴宇 黄堃 石云波 曹慧亮 HAN Xingyu;HUANG Kun;SHI Yunbo;CAO Huiliang

作者机构：中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 

基　　金：国家杰出青年自然基金资助项目(51225504) 山西省333人才科研启动基金资助项目(13011904) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2018年第40卷第2期

页      码：211-214页

摘      要：针对传统微光机电系统(MOEMS)光学加速度传感器结构复杂、信号解算繁琐等缺点,该文设计了一种基于绝缘衬底上的硅(SOI)片上工艺的,光强差分测量加速度的MOEMS加速度计。该传感器的主要光强调制部件为90°V型镜,在V型镜的对应位置上集成3个光纤通道,入射光经V型镜反射后进入2条输出光纤通道。加速度信号由进入2条光纤通道的光强差检测。器件的所有部分集成在单一的SOI晶圆片上,由一次深刻蚀工艺制造。与传统传感器比较,具有工艺简单、抗电磁干扰和有效抑制共模信号等优势。加速度计的性能指标:微机械灵敏度为0.077 7μm/g(g=9.8m/s^2),谐振频率为1.79kHz,传感器灵敏度为5.46mV/g。

主 题 词：微光机电系统 光强调制 差分测量 半导体工艺 加速度计 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 1002[医学-临床医学类] 080401[080401] 080501[080501] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0703[理学-化学类] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2018.02.015

馆 藏 号：203286174...