红外薄膜中热应力的研究

作     者：陈为兰 顾培夫 王颖 章岳光 刘旭 Chen Wei-Lan Gu Pei-Fu Wang-Ying Zhang Yue-Guang Liu Xu(State Key Laboratory of Modern Optical Instrumentation,Zhejiang University,Hangzhou 310027,China)

作者机构：浙江大学现代光学仪器国家重点实验室杭州310027 

基　　金：国家科学自然基金(基金号:60778025) 浙江大学国防预研基金和固体激光技术国家级重点实验室基金资助的课题 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2008年第57卷第7期

页      码：4316-4321页

摘      要：由于红外薄膜材料和基板热膨胀系数显著不同,所以在高温基板上镀膜后降温将产生热应力,进而引起边界分层破裂现象,影响薄膜器件的牢固性.对薄膜厚度、杨氏模量和热膨胀系数对薄膜分层破裂的影响进行了研究,同时分析了薄膜设计对减小分层破裂的作用.这对减小红外薄膜系统因热应力引起的分层破裂现象具有实际应用价值.

主 题 词：多层介质薄膜 红外 热应力 分层破裂 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

核心收录：

D　O　I：10.7498/aps.57.4316

馆 藏 号：203286463...