静电驱动阶梯型微悬臂梁吸合电压分析

作     者：朱军华 苏伟 刘人怀 宋芳芳 黄钦文 ZHU Junhua;SU Wei;LIU Renhuai;SONG Fangfang;HUANG Qinwen

作者机构：工业和信息化部电子第五研究所电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室 

基　　金：国家自然科学基金(51505089) 广东省自然科学基金(2016A030313672)资助项目 

出 版 物：《机械工程学报》 (Journal of Mechanical Engineering)

年 卷 期：2018年第54卷第8期

页      码：217-222页

摘      要：针对静电驱动微机电系统(Micro-electro-mechanical system,MEMS)器件中常见的阶梯型微悬臂梁结构,提出一种吸合电压的计算方法。基于欧拉梁理论和修正的偶应力理论,运用能量法推导出吸合电压理论模型。采用试函数与待定系数的积来表示微悬臂梁位移,利用泰勒展开来简化求解过程。通过与有限元结果对比来验证模型的正确有效性,讨论试函数的选取以及泰勒展开阶数的确定,并与传统质量弹簧模型方法进行对比,最后研究其吸合特性。结果表明,泰勒展开阶数取8时截断误差可以忽略,试函数选择阶梯型微悬臂梁位移函数,理论模型预测误差小于5%,预测结果明显优于传统方法。吸合电压随宽度比增加而单调递增,随长度比增加出现先减小后增加的变化现象,可为低驱动电压MEMS器件设计提供参考。该理论模型中考虑了边缘场效应、尺度效应的影响,可应用于微纳米尺度的微悬臂梁的吸合电压预测。

主 题 词：阶梯型悬臂梁 尺度效应 边缘场效应 偶应力理论 吸合电压 

学科分类：080805[080805] 0808[工学-自动化类] 080202[080202] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3901/jme.2018.08.217

馆 藏 号：203287371...