EB-PVD设备逆变电源研制

作     者：许海鹰 桑兴华 邢一思 左从进 崔向中 姜春竹 XU Haiying;SANG Xinghua;XING Yisi;ZUO Congjin;CUI Xiangzhong;JIANG Chunzhu

作者机构：航空工业北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室北京100024 

基　　金：中国航空工业集团有限公司创新基金项目(2013E62519) 

出 版 物：《航空制造技术》 (Aeronautical Manufacturing Technology)

年 卷 期：2018年第61卷第8期

页      码：16-21页

摘      要：为了提高EB-PVD设备性能、增强其工作灵活性,基于三级AC-DC拓扑电路、多路逆变电路串并联技术、双闭环控制策略分别设计制造了加速电源、灯丝加热电源,并将所研制加速电源、灯丝加热电源与两极电子枪、真空系统、控制系统等进行集成,组成EB-PVD试验装置,分别测试了该装置输出的高压、最大束流、灯丝加热电流、功率变压器输入波形等。试验结果表明:所研制的逆变电源输出高压达到-30k V,束流输出时逆变电源输出特性为恒压特性;灯丝加热电流最大150A,最大束流达到2000m A。这表明所研制的逆变电源满足EB-PVD设备工作需求。

主 题 词：EB-PVD设备 逆变电源 灯丝加热电源 控制电路 束流 

学科分类：08[工学] 0825[工学-环境科学与工程类] 

D　O　I：10.16080/j.issn1671-833x.2018.08.016

馆 藏 号：203287392...