一种新型500MHz声表面波氨气传感器的研究

作     者：张可珺 江洪敏 陈伟 杜波 贾双荣 邓少丽 唱凯 李发科 施剑锋 陈鸣 ZHANG Kejun;JIANG Hongmin;CHEN Wei;DU Bo;JIA Shuangrong;DENG Shaoli;CHANG Kai;LI Fake;SHI Jianfeng;CHEN Ming

作者机构：第三军医大学大坪医院检验科重庆400038 中国电子科技集团公司第26研究所重庆400060 

基　　金：国家"八六三"基金资助项目(2007AA02Z416) 重庆市自然科学基金重点资助项目(CSTC 2009BA5007) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2010年第32卷第6期

页      码：906-908页

摘      要：介绍了一种新型声表面波氨气传感器的基本工作原理和设计方法,声表面波器件的振动模式为瑞利波模式,工作频率为500 MHz。聚苯胺作为敏感膜材料,电路结构采用参比-差分输出方式。通过优化声表面波器件设计、薄膜制备工艺和气路、电路设计,研制出声表面波氨气传感器,其具有灵敏度高,响应速度快和解吸附快的特点。

主 题 词：声表面波 氨气 传感器 

学科分类：080903[080903] 1002[医学-临床医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2474.2010.06.003

馆 藏 号：203287511...