论高纯硅烷气体灌装标准及工程设计与应用

作     者：赵武勇 付国卿 

作者机构：中国化学赛鼎宁波工程有限公司浙江宁波315048 

出 版 物：《中国石油和化工标准与质量》 (China Petroleum and Chemical Standard and Quality)

年 卷 期：2018年第38卷第7期

页      码：5-8,10页

摘      要：本文简要介绍了高纯硅烷灌装在国内发展的历程,国内工程设计的标准、规范现行情况,重点介绍了在高纯硅烷灌装工程设计中的关键设备、管道材料,密封面的选型以及灌装系统的真空置换、压力检漏、气体排放等方面的设计经验和应用注意事项;详细介绍了目前高纯硅烷灌装的在线分析、自动化水平和灌装区设施布置的原则。

主 题 词：高纯硅烷 电子特气 灌装 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1673-4076.2018.07.002

馆 藏 号：203287727...