均匀辐照365nm LED光源设计及其在光刻中的应用

作     者：王向贤 汪波 傅强 陈漪恺 胡继刚 张斗国 明海 

作者机构：中国科学技术大学光学与光学工程系安徽合肥230026 巢湖学院物理与电子科学系安徽巢湖238000 

基　　金：国家973计划(2011CB301802) 国家自然科学基金(61177053 11004182) 安徽省自然科学基金(11040606Q26) 安徽省高等学校省级自然科学研究项目(KJ2012Z272) 中国科学技术大学青年创新基金资助课题 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2012年第39卷第4期

页      码：214-217页

摘      要：优化设计了365nm紫外LED点光源阵列、聚焦透镜组的排布,实现了高强度均匀辐照的LED面光源。利用优化后的365nm LED面光源进行了接触式曝光光刻实验,所得刻写图形与掩模板图形一致。提出的基于365nm紫外LED阵列均匀辐照面光源的光刻方法具有结构简单、节能、环保等优势。

主 题 词：光学制造 紫外发光二极管 阵列 光刻 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/cjl201239.0416001

馆 藏 号：203288239...