基于桥式放大机构的薄膜致动器设计

作     者：刘积昊 闫维新 李培兴 潘根 赵言正 LIU Jihao;YAN Weixin;LI Peixing;PAN Gen;ZHAO Yanzheng

作者机构：上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室上海200240 

基　　金：国家自然科学基金项目(61273342)资助 

出 版 物：《上海交通大学学报》 (Journal of Shanghai Jiaotong University)

年 卷 期：2018年第52卷第4期

页      码：429-436页

摘      要：提出了一种基于桥式放大机构的柔性薄膜致动器设计.该设计采用桥式放大机构提高致动器位移输出特性,利用并联耦合连杆机构降低输出漂移.采用理想模型和弹性梁理论,对薄膜致动器的运动学特性与形变位移模型建模,深入探究机构位移放大比和输出漂移误差.中心旋转对称式的机构拓扑构型,降低热变产生的寄生位移.通过ANSYS有限元模拟以及样机实验,验证致动器机构设计和位移放大比.采用MEMS工艺设计的样机,最大输出位移为50μm,位移放大比为23.设计参数满足约束要求时,机构输出位移大小只与并联输入位移的均值相关,径向位移不会因输入位移大小的差异产生.

主 题 词：薄膜致动器 桥式机构 弹性理论 位移放大比 

学科分类：080805[080805] 0808[工学-自动化类] 080202[080202] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.16183/j.cnki.jsjtu.2018.04.007

馆 藏 号：203289041...