甲基丙烯酸甲酯共聚物作为LIGA抗蚀剂的研究

作     者：陈永明 彭良强 陈传福 伊福廷 习复 

作者机构：中国科学院化学研究所北京100080 中国科学院高能物理研究所北京100039 

基　　金：国家基金委资助项目 (5 94 730 11) 

出 版 物：《微细加工技术》 (Microfabrication Technology)

年 卷 期：2001年第3期

页      码：64-67页

摘      要：设计合成了具有头 -头结构的甲基丙烯酸甲酯共聚物以及含大空间侧基的甲基丙烯酸甲酯共聚物 ,研究了它们作为LIGA技术用抗蚀剂的光敏性能 ,结果表明适当大小空间侧基的引入 ,有助于改善甲基丙烯酸甲酯型抗蚀剂的光敏性。

主 题 词：甲基丙烯酸甲酯共聚物 光刻工艺 LIGA 抗蚀剂 光敏性 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

馆 藏 号：203289237...