含随机测量时延的批间控制器设计

作     者：王海燕 潘天红 谭斐 高占涛 WANG Hai-yan;PAN Tian-hongt;TAN Fei;GAO Zhan-tao

作者机构：江苏大学电气信息工程学院江苏镇江212013 

基　　金：国家自然科学基金项目(61273142) 江苏省六大人才高峰项目(2012–DZXX–045) 江苏省高校优势学科建设工程项目(PAPD)资助 

出 版 物：《控制理论与应用》 (Control Theory & Applications)

年 卷 期：2018年第35卷第4期

页      码：531-538页

摘      要：批间控制(Rt R)是半导体晶圆生产过程控制的有效算法.然而,受测量手段与测量成本的限制,难以实时检测晶圆的品质数据,即:存在一定的测量时延,通常该测量时延是随机,时变的,且直接影响批间控制器的性能.为此,本文基于指数加权移动平均(EWMA)算法,提出一种含随机测量时延的扰动估计方法.在分析测量概率的基础上,建立包含测量时延概率的扰动估计表达式;并采用期望最大化(EM)算法估计该测量时延的概率;然后分析系统可能存在的静差项,给出相应的补偿算法;最后讨论系统的稳定性.仿真实例验证所提算法的有效性.

主 题 词：批间控制 测量时延 EWMA算法 EM算法 

学科分类：08[工学] 0835[0835] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.7641/CTA.2017.70434

馆 藏 号：203289248...