基于双岛结构的多晶硅纳米薄膜压力传感器

作     者：陈雪娇 黄元庆 郑志霞 林振衡 CHEN Xuejiao;HUANG Yuanqing;ZHENG Zhixia;LIN Zhenheng

作者机构：莆田学院机电工程学院福建莆田351100 厦门大学航空航天学院福建厦门361005 

基　　金：福建省科技厅引导性(重点)项目(2017H032) 莆田学院激光精密加工工程技术研究中心开放基金项目(2016JZA014) 

出 版 物：《莆田学院学报》 (Journal of putian University)

年 卷 期：2018年第25卷第2期

页      码：38-42页

摘      要：为解决传统半导体压力传感器温度特性差、非线性度高等问题,设计一种基于双岛结构的多晶硅纳米薄膜压力传感器。利用有限元分析软件分析硅膜结构的应力分布规律,确定力敏电阻的最佳布局,进一步提高了传感器的灵敏度。这种压力传感器兼具温度特性好、灵敏度高、线性度好等综合性能。

主 题 词：压力传感器 多晶硅纳米薄膜 双岛结构 有限元分析 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-4143.2018.02.009

馆 藏 号：203289361...