光学薄膜自动化控制系统简述

作     者：马志亮 

作者机构：北京京仪博电光学技术有限责任公司北京100176 

出 版 物：《仪器仪表与分析监测》 (Instrumentation·Analysis·Monitoring)

年 卷 期：2014年第4期

页      码：25-28页

摘      要：光学薄膜产品在军事、空间科学和工农业生产中发挥着重要作用。面对日益复杂的需求,膜系设计动辄数十、上百层,纯手动或半自动化的镀膜机已经不能满足现有需求。随着计算机和自动化技术的发展,全自动精密光学镀膜机的出现成为现实。主要介绍全自动真空蒸发镀膜机自动化系统的构成、相关硬件模块和软件内容。

主 题 词：石英晶体振荡控制器 光学监控 可编程控制器PLC 

学科分类：0711[理学-心理学类] 080904[080904] 07[理学] 0809[工学-计算机类] 081104[081104] 08[工学] 0811[工学-水利类] 071102[071102] 081103[081103] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-3720.2014.04.007

馆 藏 号：203289631...