MEMS陀螺仪振动特性分析及性能优化

作     者：卢新艳 李博 徐淑静 杨拥军 Lu Xinyan;Li Bo;Xu Shujing;Yang Yongjun

作者机构：中国电子科技集团公司第十三研究所 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2018年第55卷第7期

页      码：503-509页

摘      要：谐振式MEMS陀螺仪在随机振动中会发生性能退化,主要表现形式为噪声增大、零偏变化及标度因数降低。研究了陀螺仪的振动模态,发现当正交耦合和电容不对称时,检测模态及检测同相模态极易被激发。被激发的两种信号会占用有限的C/V检测信道,引起信道饱和,造成标度因数变小,同时还会引起振中噪声变大和零位变化。从加工工艺和MEMS设计两方面提出提高陀螺仪振动性能的方法。优化后陀螺仪振中噪声降为优化前的1/10,振中零位差降为原来的1/5,标度因数降低的现象完全消失。

主 题 词：微电子机械系统(MEMS) 陀螺仪 振动 正交耦合 标度因数 噪声 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0825[工学-环境科学与工程类] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.13250/j.cnki.wndz.2018.07.008

馆 藏 号：203289719...