多孔硅芯炉感应加热线圈磁场效应的仿真分析

作     者：李金刚 刘高原 Li Jingang;Liu Gaoyuan

作者机构：西安理工大学自动化与信息工程学院陕西西安710048 

基　　金：陕西省工业科技攻关项目(2014K06-18) 

出 版 物：《系统仿真学报》 (Journal of System Simulation)

年 卷 期：2018年第30卷第6期

页      码：2182-2189页

摘      要：多孔感应加热线圈技术能解决区熔法单孔线圈拉制单晶硅效率低、成本高等问题。但因相关理论研究不足,技术不成熟,导致同时拉制的多根单晶硅形状不同。根据电磁场理论建立了多孔线圈磁场模型,分析了工作原理,研究了多孔线圈磁场分布规律。为直观证明同时拉制多根单晶硅的机理,建立了基于Matlab和Ansys的数学模型,在Matlab中计算并绘制磁感应强度分布图,运用Ansys仿真软件对实际过程进行模拟,证明理论分析的正确性和线圈设计的实用性。

主 题 词：单晶硅 多孔线圈 感应加热 数值分析 磁场分布 

学科分类：080801[080801] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 0701[理学-数学类] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.16182/j.issn1004731x.joss.201806023

馆 藏 号：203289744...