光学元件表面疵病检测仪的精度建模及预测

作     者：杨荟琦 李显凌 YANG Hui-qi;LI Xian-ling

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心吉林长春130033 中国科学院大学北京100049 

基　　金：国家科技重大专项02专项资助项目(2009ZX02205) 

出 版 物：《机械设计与制造》 (Machinery Design & Manufacture)

年 卷 期：2018年第6期

页      码：98-101页

摘      要：为了对疵病检测仪的精度进行预测并对设计方案的合理性进行验证,基于多体系统理论对疵病检测仪机械运动机构进行了精度建模。用低序体阵列和拓扑结构描述了疵病检测仪的结构特点,提出了疵病检测仪的精度模型,针对光学系统的要求进行了误差分离。基于该精度模型,以典型光学元件为例提出了误差补偿的计算流程,对疵病检测仪的精度进行预测。预测结果表明,光学探头的成像点与待测点沿光学探头光轴方向误差最大值为3.0μm,满足光学探头景深20μm的检测要求,同时光学探头成像点与光学元件待测点垂直于光轴方向误差及光学探头光轴与光学元件待测点处表面法向的夹角均在设计指标内。

主 题 词：疵病检测仪 多体系统 精度模型 精度预测 

学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-3997.2018.06.026

馆 藏 号：203289867...