大型光学表面纳米精度制造

作     者：彭小强 戴一帆 李圣怡 PENG Xiaoqiang;DAI Yifan;LI Shengyi

作者机构：国防科技大学机电工程与自动化学院湖南长沙410073 超精密加工技术湖南省重点实验室湖南长沙410073 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51275521) 新世纪优秀人才资助计划项目(NCET-12-0144) 

出 版 物：《国防科技大学学报》 (Journal of National University of Defense Technology)

年 卷 期：2015年第37卷第6期

页      码：1-7页

摘      要：纳米精度光学表面在光刻技术、同步辐射、空间观测和惯约聚变等领域有重大需求。随着装备性能需求的不断提升,这些光学系统对光学零件面形精度和表面质量的要求几乎接近于物理极限,对光学制造技术提出了更高挑战,使光学制造成为纳米制造技术的发展前沿。通过攻克纳米量级材料去除的稳定性、复杂曲面可控补偿和装备运动轴性能设计等关键问题,掌握了以磁流变和离子束抛光技术为代表的可控柔体抛光技术,利用自主研发的抛光制造装备和工艺实现了典型光学零件的纳米精度制造,为国家相关科技项目的顺利实施提供有力的制造技术支撑。

主 题 词：纳米精度制造 光学制造 可控柔体抛光 磁流变抛光 离子束抛光 

学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.11887/j.cn.201506001

馆 藏 号：203289927...