激光直写多层光刻样品定位准确度的研究

作     者：李华 郭党委 毕四军 LI Hua;GUO Dang-wei;BI Si-jun

作者机构：兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室物理科学与技术学院甘肃兰州730000 

基　　金：兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室开放课题(MMM2014014) 高等学校仪器设备和优质资源共享系统项目管理中心项目(CERS-1-89)经费支持 

出 版 物：《实验室研究与探索》 (Research and Exploration In Laboratory)

年 卷 期：2016年第35卷第3期

页      码：37-40页

摘      要：利用磁控溅射法制备了铁钴合金薄膜,并采用电感耦合等离子体发射光谱仪、多晶X射线衍射仪和场发射扫描电子显微镜对沉积薄膜的成分、晶体结构和微观形貌进行了测试和分析。针对DWL66FS型激光直写仪自带定位工具定位销使用时的缺点,设计了"L"形样品定位工具L夹尺。利用高倍光学显微镜对比分析研究了两种定位技术在激光直写多层光刻铁钴合金薄膜时定位的准确度。结果发现,使用L夹尺对多层光刻样品定位的准确度明显优于仪器自带的定位销。

主 题 词：激光直写 多层光刻 定位 准确度 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1006-7167.2016.03.010

馆 藏 号：203290031...