全自动单晶圆铝腐蚀清洗机工艺原理与工作过程介绍

作     者：宋文超 陈仲武 姚立新 张利军 王刚 SONG Wenchao;CHEN Zhongw u;YAO Lixin;ZHANG Lijun;WAN Ggang

作者机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所北京101601 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2013年第42卷第6期

页      码：1-4,31页

摘      要：介绍了几种常用的晶圆金属铝膜腐蚀工艺,并详细讲解了全自动单晶圆铝腐蚀清洗机采用第四种工艺配方进行金属铝膜腐蚀清洗的工艺过程。同时,简单介绍了为提高腐蚀清洗效果而设计的两套子系统的工作原理。

主 题 词：半导体 铝腐蚀 单晶圆清洗 自动设备 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-4507.2013.06.001

馆 藏 号：203294085...