MEMS设计是科学与艺术的结合

作     者：Jon Titus 

作者机构：ECN高级编辑 

出 版 物：《电子产品世界》 (Electronic Engineering & Product World)

年 卷 期：2004年第11卷第12B期

页      码：64-67页

摘      要：尽管多数情况工程技术人员可以使用标准MEMS(微电子机械系统)装置(例如压力和加速度传感器)开发自己的系统,但在有些情况下设计人员则需自己定制MEMS.本文将介绍工程技术人员如何针对特殊需求开发MEMS装置.

主 题 词：MEMS设计 传感器技术 微电子机械系统 验证设计 机电问题 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

馆 藏 号：203294180...