减少阻力的MEMS初始位置定位机构设计与性能分析

作     者：李华 石庚辰 LI Hua;SHI Geng-chen

作者机构：清华大学精密仪器与机械学系北京100084 北京理工大学宇航科学技术学院北京100081 

基　　金：国防科技重点实验室基金资助项目(514850301) 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2009年第7卷第3期

页      码：228-232页

摘      要：根据微机电系统(MEMS)加工工艺特点和初始位置定位机构的设计要求,设计了两种MEMS初始位置定位机构的结构方案.通过力学分析,求出了定位机构解除定位所需要克服的阻力计算公式,用ANSYS仿真验证了其正确性.根据满足系统性能要求和利于装配两者均衡的原则,对两种定位机构的设计方案进行了对比研究,选择能减少阻力的MEMS初始位置定位机构.采用MEMS工艺中的LIGA工艺加工出初始位置定位机构.用VDS92-1430离心实验机分别加速到3 000 r/min、5 000 r/min、8 000 r/min和12 000 r/min进行离心实验.实验结果表明,设计的MEMS初始位置定位机构能正常工作,性能达到了设计要求.

主 题 词：微机电系统 初始位置定位机构 LIGA 离心实验 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-6030.2009.03.008

馆 藏 号：203295334...