基于磁流变技术的微孔内壁抛光装置研制及性能研究

作     者：周悦 王雨婷 伊福廷 王波 刘静 张天冲 ZHOU Yue;WANG Yu-ting;YI Fu-ting;WANG Bo;LIU Jing;ZHANG Tian-chong

作者机构：中国科学院高能物理研究所北京100049 中国科学院大学北京100049 

基　　金：国家自然科学基金委员会-中国科学院天文联合基金资助(U1631113)~~ 

出 版 物：《表面技术》 (Surface Technology)

年 卷 期：2018年第47卷第6期

页      码：252-257页

摘      要：目的基于磁流变技术研制适用于微孔内壁抛光的装置。方法利用磁流变抛光液的性质,借鉴传统的抛光原理,设计并研制了适用于微孔内壁抛光的抛光装置,并对该装置进行了一系列的性能研究。基于该微孔内壁抛光装置对多孔镍样品及平片硅样品进行了不同条件下的抛光研究,并对抛光结果进行了分析。结果此抛光装置的性能研究结果表明,该装置产生的交变磁场均匀、稳定,符合模拟预期,可用于进一步的样品抛光研究。利用此抛光装置,虽然在多孔镍样品的抛光上没有较为明显的效果,但平片硅样品的粗糙度却由1.24 nm下降至0.56 nm,具有较大改善。在平片硅样品的抛光研究中,进一步发现随着时间的增加,其粗糙度不断下降。结论自行搭建的基于磁流变技术的微孔内壁抛光装置可对平片硅进行抛光。

主 题 词：磁流变技术 微孔内壁抛光 抛光装置 磁感应强度 粗糙度 

学科分类：080503[080503] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 0702[理学-物理学类] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.06.036

馆 藏 号：203296136...