一种压阻式微压传感器芯片设计与实现

作     者：吴佐飞 尹延昭 田雷 王永刚 WU Zuo-fei;YIN Yan-zhao;TIAN Lei;WANG Yong-gang

作者机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所黑龙江哈尔滨150001 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2018年第37卷第6期

页      码：73-74,78页

摘      要：基于压阻效应和惠斯通电桥原理,设计了一种压阻式微压传感器;为了增大灵敏度,设计了一种折弯形的压敏电阻。从微压芯片敏感薄膜的设计、敏感电阻条的确定以及敏感电阻器位置的选取等方面考虑,设计了具有应力匀散效应的梁-膜结构并进行了工艺验证。验证结果表明:所设计的微压芯片灵敏度达到了24 mV/kPa,非线性优于0.2%FS。

主 题 词：压阻效应 微压传感器 绝缘体上硅 梁-膜结构 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2018)06-0073-02

馆 藏 号：203296187...