磨料混合对蓝宝石抛光效果的影响

作     者：汪海波 杨金 鲁世斌 张忠祥 蒋先伟 王菲菲 樊敏 彭勇 WANG Haibo;YANG Jin;LU Shibin;ZHANG Zhongxiang;JIANG Xianwei;WANG Feifei;FAN Min;PENG Yong

作者机构：合肥师范学院电子信息系统仿真设计安徽省重点实验室安徽合肥230601 池州华钛半导体有限公司安徽池州230000 

基　　金：安徽高校省级自然科学研究项目(KJ2016A574 KJ2015A276 KJ2014A208) 合肥师范学院人才科研启动基金项目(2016rcjj07) 安徽省科技重大专项(批准号:17030901009) 

出 版 物：《润滑与密封》 (Lubrication Engineering)

年 卷 期：2018年第43卷第6期

页      码：43-48,54页

摘      要：磨料的粒径分布严重影响蓝宝石抛光,传统的抛光模型无法说明粒径分布的作用效果。针对这一问题,以不同粒径磨料混合放大粒径分散性影响,研究单一磨料和2种粒径混合磨料对抛光速率的影响。结果表明:2种不同粒径混合能够明显提高抛光速率,在一定质量比条件下可以达到最大值,并且粒径差距越大,抛光速率越快;不同粒径磨料混合影响抛光温度和磨料使用寿命,这是因为其一方面增加磨料整体羟基官能团数量,另一方面可以形成不同磨料间的密堆积,增加与蓝宝石接触面积。以此为基础,讨论多粒径分布的抛光动力学过程,并提出抛光动力学模型。

主 题 词：分散性 蓝宝石 化学机械抛光 粒径分布 抛光速率 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.0254-0150.2018.06.008

馆 藏 号：203296278...