基于二阶质量权的四向剪切相位解包裹算法

作     者：李芹 刘维 王道档 孔明 郭天太 赵军 陈正霞 LI Qin;LIU Wei;WANG Dao-dang;KONG Ming;GUO Tian-tai;ZHAO Jun;CHEN Zheng- xia

作者机构：中国计量大学计量测试工程学院浙江杭州310018 常州液压成套设备厂有限公司设计工艺科江苏常州213164 

基　　金：国家自然科学基金(51375467) 浙江省自然科学基金(LY17E050014) 国家质量监督检验检疫总局公益性行业科研专项(201310116) 国家质量监督检验检疫总局科技计划(2017QK033)资助项目 

出 版 物：《光电子．激光》 (Journal of Optoelectronics·Laser)

年 卷 期：2018年第29卷第6期

页      码：618-626页

摘      要：为解决光学干涉测量中相位变化过快以及噪声等问题对于相位数值重建的影响,提出一种基于二阶质量权的四向剪切最小二乘相位解包裹算法。该算法将剪切干涉技术和用于标识数据好坏的质量权值引入四向最小二乘相位解包裹算法,不仅可以有效改善因相位变换过快导致的欠采样问题,而且提高了算法的稳定性。根据离散梯度对误差传递的影响,对基于二阶质量权的四向剪切最小二乘相位解包裹算法进一步优化。仿真结果表明,基于二阶质量权的四向剪切最小二乘相位解包裹优化算法得到的相位图更接近于理想值,其平均误差仅为基于横向剪切的四向最小二乘算法平均误差的50%。将该算法应用到数字全息三维形貌再现技术,纵向可达到优于微米量级测量精度,测得台阶样片纵向误差为0.012μm。

主 题 词：相位解包裹 四向最小二乘 质量权值 欠采样 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.16136/j.joel.2018.06.0250

馆 藏 号：203296323...