双热源合成碳化硅过程的三维数值模拟及窑炉结构优化设计

作     者：杨小玉 张晴 Yang Xiaoyu;Zhang Qing

作者机构：陕西铁路工程职业技术学院渭南714000 西安科技大学材料科学与工程学院西安710054 

基　　金：陕西省科技攻关项目(2013GY2-03) 陕西铁路工程职业技术学院科研基金项目(KY2016-34) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2018年第38卷第5期

页      码：413-418页

摘      要：采用CFD软件,选取热电耦合模型、组份传输反应模型与辐射模型。对碳热还原合成碳化硅过程中双热源合成炉内能量及物质传递过程进行模拟研究。将模拟结果与工业试验数据进行对比验证,从而验证了模拟的可靠性,揭示了碳化硅合成过程中的传热传质机理。根据分析结果对传统的双热源碳化硅合成炉进行结构优化设计,对于延长合成炉的使用寿命、提升产品质量、改善工况具有一定的指导意义。

主 题 词：双热源 碳化硅 数值模拟 优化设计 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 0817[工学-轻工类] 0806[工学-电气类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjovst.2018.05.12

馆 藏 号：203296364...