离子镀TiN涂层工艺参数优化及工作距离对表面质量的影响

作     者：杜军 张平 赵军军 蔡志海 郝根根 DU Jun;ZHANG Ping;ZHAO Jun-jun;CAI Zhi-hai;HAO Gen-gen

作者机构：装甲兵工程学院装备再制造技术国防科技重点试验室 装甲兵工程学院装备再制造技术国防科技重点试验室 北京 

出 版 物：《装甲兵工程学院学报》 (Journal of Academy of Armored Force Engineering)

年 卷 期：2008年第22卷第1期

页      码：83-87页

摘      要：采用多弧离子镀(multi-arc deposition)沉积TiN涂层,分析工艺参数对涂层表面质量的影响。首先以硬度为考核指标,设计了Ti弧流、N2流量、Ar流量、烘烤温度和偏压的5因素、4水平L16(45)正交试验,优化工艺参数。然后分析了优化工艺参数条件下,工件到靶材的距离(工作距离)对涂层表面质量的影响。采用SEM分析了表面形貌,通过截面形貌确定了涂层厚度;采用Nano-indentation测定了涂层硬度。结果发现:5个因素对涂层硬度的影响程度不同,影响硬度的因素主次顺序为Ti弧流—Ar流量—偏压—烘烤温度—N2流量;试验条件下,5因素的最优水平依次为70 A,10 sccm,40 V,350℃,44 sccm;存在最佳工作距离(约30 cm),使涂层表面质量最佳。

主 题 词：多弧离子镀 TiN涂层 表面质量 

学科分类：080503[080503] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-1497.2008.01.020

馆 藏 号：203296703...