聚焦离子束系统液态金属离子源的研制

作     者：马向国 刘同娟 顾文琪 

作者机构：北京物资学院北京101149 中国科学院电工研究所北京100080 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2008年第28卷第4期

页      码：331-336页

摘      要：设计了一种聚焦离子束系统用液态金属离子源(Liquid Metal lon Source-LMIS),本文对该源组件结构的设计、发射针尖的腐蚀工艺、挂金属镓工艺、测试系统的设计作了介绍;然后对该离子源的I-V特性、角电流密度、稳定性以及寿命等性能进行了测试。实验结果表明,该源的各项指标均达到了聚焦离子束系统的要求,并对影响源性能的因素进行了分析,从而为合理有效地设计液态金属离子源提供启示。

主 题 词：聚焦离子束 液态金属离子源 测试系统 发射特性 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjovst.2008.04.022

馆 藏 号：203296741...