多晶硅横向压阻灵敏度的统计分析

作     者：赵甘鸣 鲍敏杭 

作者机构：复旦大学 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：1989年第2卷第2期

页      码：1-9页

摘      要：本文用统计方法对择优生长的多晶硅横向压阻进行了分析:计算了、、、、、、等低指数晶向择优生长的P型和N型多晶硅横向平均晶粒压阻系数;采用全空间统计平均的方法,计算得到了晶向完全随机的多晶硅横向平均晶粒压阻系数;从欧姆定律和多晶硅晶粒特性出发,推导了多晶硅横向压阻灵敏度的表达式。通过实验测量了多晶硅横向压阻器件的灵敏度及其与角度的关系,证实多晶硅横向压阻灵敏度与器件倾角α符合sin2α的关系。将实验结果与理论分析的结果相比较后,得到了多晶硅的杨氏模量,这些结果表明多晶硅横向压力传感器具有实用价值,并为器件提供了优化的设计方案。

主 题 词：多晶硅 压阻 灵敏度 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

馆 藏 号：203302261...