利用朗缪尔双探针诊断电弧离子镀等离子体参数

作     者：袁方园 陆文琪 林国强 Yuan Fangyuan;Lu Wenqi;Lin Guoqiang

作者机构：大连理工大学物理与光电工程学院大连116024 

基　　金：国家自然科学基金(批准号:No.50572012 No.60576022) 国家高技术研究发展计划(863)资助项目(批准号:No.2006AA03Z521) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2009年第29卷第5期

页      码：509-512页

摘      要：本文利用朗缪尔双探针对电弧离子镀等离子体进行了诊断。双探针具有收集电流小的优点(小于离子饱和电流),可以避免探针在高密度电弧离子镀等离子体中被烧坏。利用离散傅里叶变换(DFT)对测量曲线进行平滑,有效地克服了电弧离子镀等离子体放电所固有的强烈波动。探针端部设计能够避免由薄膜沉积造成的探针与支撑杆短路问题。实验结果表明,等离子体密度随着弧电流和气压的增加而增加,而电子温度随着弧电流和气压变化不明显。另外,使用双靶放电等离子体密度和电子温度高于单靶放电。这些结果提供了电弧离子镀等离子体的基本参数,对于材料涂层工艺研究具有积极意义。

主 题 词：朗缪尔双探针 电弧离子镀 等离子体 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-7126.2009.05.11

馆 藏 号：203302443...