离轴非球面镜子母同体超精密车削加工法

作     者：张效栋 房丰洲 魏桂爽 程颖 Zhang Xiaodong;Fang Fengzhou;Wei Guishuang;Cheng Ying

作者机构：天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室、天津微纳制造工程技术中心天津300072 

基　　金：国家863计划重点项目(2009AA044305) 国家博士后科学基金项目(20080440683) 国家自然基金重大研究计划项目(90923024)资助 

出 版 物：《机械科学与技术》 (Mechanical Science and Technology for Aerospace Engineering)

年 卷 期：2010年第29卷第11期

页      码：1438-1442页

摘      要：离轴非球面镜是高精度测量和制造装备不可或缺的光学器件。目前其制造技术的难点在于同时实现高效和高形状精度的加工。笔者借助"子母同体"结构设计和超精密车削技术实现高精度离轴非球面镜加工。利用该结构设计,借助非球面车削加工可实现多个离轴非球面的加工,并从加工路径优化设计和补偿加工技术的研究方面,论述了提高面形精度的方法。实验结果表明:离轴非球面镜的面形精度P-V可在200nm之内,粗糙度Ra约为6nm。

主 题 词：离轴非球面 超精密加工 车削 补偿加工 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.13433/j.cnki.1003-8728.2010.11.022

馆 藏 号：203302890...