大型衍射光栅刻划机控制系统研究

作     者：刘栋材 申远 钟俊 齐向东 于海利 竺长安 LIU Dongcai;SHEN Yuan;ZHONG Jun;QI Xiangdong;YU Haili;ZHU Changan

作者机构：中国科学技术大学精密机械与精密仪器系安徽合肥230027 长春光学精密机械与物理研究所长春130033 

基　　金："十一五"国家科技支撑计划重大项目(2006BAK03A02) 国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1) 中国科学院重大科研装备研制项目(YZ200804)资助 

出 版 物：《中国科学技术大学学报》 (JUSTC)

年 卷 期：2011年第41卷第6期

页      码：560-564页

摘      要：介绍了大型高精度衍射光栅刻划机的机械结构及其控制系统设计,并针对具有复杂机械结构的控制系统研究了一种新的仿真方法.通过利用Pro/Mechanism模块中的Custom Load(定制负荷)插件实现控制算法,从而在虚拟样机上实现运动控制的仿真.采用这种方法,在光栅刻划机上进行了精定位控制仿真,并基于仿真结果进行控制方案优化,提高了控制系统的开发效率和控制方案的有效性.

主 题 词：高精度光栅 机械结构 控制系统 定制负荷 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.0253-2778.2011.06.016

馆 藏 号：203303266...