微机电系统光学组件的系统级建模

作     者：李晓莹 李慧敏 常洪龙 何洋 焦文龙 LI Xiao-ying;LI Hui-min;CHANG Hong-long;HE Yang;JIAO Wen-long

作者机构：西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室陕西西安710072 

基　　金：国家863高技术研究发展计划(MEMS重大专项)资助项目(No.2007AA04Z347 No.2009AA04Z320) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2012年第20卷第5期

页      码：1069-1075页

摘      要：为提高微机电系统(MEMS)中光学系统整体仿真的准确性和效率,解决光学组件系统级建模存在的问题,提出了一种光学组件系统级建模方法,该方法可同时支持与MEMS系统级机械组件和电路组件共同仿真。首先,介绍了多端口组件网络方法、高斯光束特点和空间坐标系变换理论。接着,以微平面镜为例,介绍了光学组件系统级建模方法的流程。最后,采用Verilog-A硬件描述语言建立了包含多个典型光学组件的系统级光学库。使用该库的光学组件在MEMS集成设计工具MEMS Garden中搭建微扫描系统进行了仿真与测试。与商业软件CoventorWare的分析结果相比,提出的建模方法解决了扫描盲区问题,且非差分电压分析的误差小于3%。结果显示,本文提出的建模方法精确有效,对MEMS的系统级设计有参考价值。

主 题 词：微机电系统(MEMS) 光学组件 建模 Verilog-A硬件描述语言 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 081203[081203] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 0835[0835] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 0702[理学-物理学类] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/ope.20122005.1069

馆 藏 号：203303680...