纳米光栅动静态校准工作台

作     者：张海波 匡也 唐杨超 ZHANG Hai-bo;KUANG Ye;TANG Yang-chao

作者机构：黑龙江省计量检定测试研究院黑龙江哈尔滨150036 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所黑龙江哈尔滨150001 

基　　金：国家质量监督检验检疫总局科技计划项目(2016QK051) 

出 版 物：《计量学报》 (Acta Metrologica Sinica)

年 卷 期：2018年第39卷第4期

页      码：465-470页

摘      要：为了改善纳米光栅校准装置校准精度、校准量程及动态频响难以兼顾的问题,采用宏微运动控制方法驱动校准装置作快速、精密、大范围运动。宏动平台由静压气浮导轨和直线电机组合而成,微动平台由柔性铰链和压电陶瓷构成。对宏动平台和微动平台进行动力学建模,并获得宏微运动平台的传递函数。设计微动跟随宏动和宏动跟随微动两种控制策略,并进行建模和仿真分析,利用搭建的实验平台进行了校准装置的性能测试。实验结果表明:宏动跟随微动控制策略具有较高的动态频响性能,校准装置在全行程20 mm内分辨力达到5 nm;在幅值为0.05 mm的正弦频率响应实验中,动态频响达到100 Hz,可满足纳米光栅的动静态校准要求。

主 题 词：计量学 纳米光栅校准 宏微运动控制 动静态校准 动力学建模 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 0703[理学-化学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-1158.2018.04.04

馆 藏 号：203304592...