微结构阵列在位检测系统研究

作     者：张霞峰 刘强 尹自强 赵荣丽 林剑 ZHANG Xia-feng;LIU Qiang;YIN Zi-qiang;ZHAO Rong-li;LIN Jian

作者机构：广东工业大学机电工程学院广州510006 

基　　金：国家自然科学基金项目(51605101) 广东省微纳加工技术与装备重点实验室(2011A060901021) 广东省应用型科技研发专项资金项目(2015B090921007) 

出 版 物：《组合机床与自动化加工技术》 (Modular Machine Tool & Automatic Manufacturing Technique)

年 卷 期：2018年第6期

页      码：93-97,103页

摘      要：在导光板模具钢上加工的微结构阵列的精度决定导光板的质量。在精密撞点机上加工导光板模具的过程中,需对加工的微结构阵列在位检测,因导光板模具取下再放回机床时加工条件已发生改变,后续撞点加工已无任何意义。通过Halcon研究的精密撞点机在位检测系统可以高精度的检测微结构阵列直径和圆心距,在检测系统设计中采用了阈值分割、圆孔填充、开运算等算子和运用了亚像素边缘提取和最小二乘法拟合圆等理论。通过高精度的白光干涉仪和设计的检测系统分别对相同的微结构阵列进行检测,通过检测数据对比验证了测量系统满足设计要求。

主 题 词：微结构阵列 在位检测 Halcon 

学科分类：080503[080503] 080202[080202] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.13462/j.cnki.mmtamt.2018.06.025

馆 藏 号：203304628...