电子工业用9N气体纯化技术的研究与应用

作     者：徐长江 Xu Chang-jiang

作者机构：洛阳单晶硅集团有限责任公司河南洛阳471000 

出 版 物：《化工设计通讯》 (Chemical Engineering Design Communications)

年 卷 期：2018年第44卷第6期

页      码：78-78页

摘      要：气体纯化作为电子工业气体制造过程中的关键技术内容,完善纯化技术研究具有十分重要的作用,更是促进我国工业制造业发展的重要技术之一。结合电子行业中对工业气体的实际需要,探究气体纯化技术存在的困难,分析氮气、氢气运用纯化技术制造的相关内容,希望能够对未来技术发展提供借鉴和帮助。

主 题 词：电子工业 9N气体 纯化技术 

学科分类：081704[081704] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 081701[081701] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-6490.2018.06.073

馆 藏 号：203304634...