胶层热传递对挠性摆式微加速度计温度滞环的影响

作     者：李凯 罗怡 王晓东 孙屹博 LI Kai;LUO Yi;WANG Xiaodong;SUN Yibo

作者机构：大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室辽宁大连116024 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室辽宁大连116024 

基　　金："高档数控机床与基础制造装备"科技重大专项"高精度惯性器件微制造装备"课题项目(2013ZX04001-091) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2018年第31卷第7期

页      码：981-986页

摘      要：挠性微加速度计是惯导系统的核心组件,主要采用胶粘接装配,因此研究胶层热传递和蠕变效应共同作用对揭示温度滞环对加速度计性能稳定性影响具有重要意义。本文针对因手工涂胶导致的胶层厚度、溢出和倾斜等误差因素进行仿真,结果表明,第1周期的滞环值明显高于第二及以后周期的,应采用分步补偿。胶层溢出对滞环值的影响较大,溢出量为0.03mm时,第1周期最大可达260μg。胶层厚度在设计许可范围内,随厚度增加呈减小趋势。胶层倾斜量达到胶层厚度一半时,第1周期最大滞环值达120μg。上述研究结果可为加速度计装配工艺优化提供数据支撑。

主 题 词：微加速度计 胶粘接 有限元仿真 温度滞环 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0803[工学-仪器类] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2018.07.001

馆 藏 号：203304674...