磁盘伺服图形光刻机主轴稳速系统设计

作     者：王晓兰 罗敢 王岳环 Wang Xiaolan Luo Gan Wang Yuehuan(College of Computer,Huazhong University of Sci.and Tech.,Wuhan430074)

作者机构：华中科技大学计算机学院武汉430074 

基　　金：国家自然科学重点基金项目资助(编号:69133020) 

出 版 物：《计算机工程与应用》 (Computer Engineering and Applications)

年 卷 期：2002年第38卷第7期

页      码：221-223,233页

摘      要：该文叙述了影响磁盘伺服图形光刻机主轴转速误差的主要来源,分析了主轴稳速系统是实现光刻机均匀刻录不可缺少的重要环节,提出了提高主轴稳速精度具体设计方案。

主 题 词：稳速精度 单片机控制 磁盘伺服图形光刻机 主轴稳速系统 设计 磁盘驱动器 

学科分类：08[工学] 081201[081201] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1002-8331.2002.07.074

馆 藏 号：203304711...