智能眼镜影像系统宽光谱广角度分光膜的研制

作     者：付秀华 张于帅 寇洋 李旭娜 刘冬梅 张静 李光辉 FU Xiu-hua;ZHANG Yu-shuai;KOU Yang;LI Xu-na;LIU Dong-mei;ZHANG Jing;LI Guang-hui

作者机构：长春理工大学光电工程学院长春130022 华南师范大学光电子材料与技术研究所广州510631 京东方科技集团股份有限公司北京100176 

基　　金：省部产学研结合项目(No.2010A090200006)资助 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2015年第44卷第3期

页      码：7-11页

摘      要：依据光学薄膜理论,建立膜系优化评价函数,利用软件优化膜系,实现0°～75°入射宽光谱P光分光膜的设计.选择H4和MgF2作为高低折射率材料,采用电子束及离子辅助沉积技术,来制备该分光膜.通过对膜层厚度误差分析,用晶控片单独控制相对敏感度较高的膜层,解决了薄膜制备过程中不能精确控制膜厚误差的问题.运用逆向分析法对实验测试结果进行模拟分析,通过改变膜厚修正因子,使P光透射光谱曲线更加平滑.光谱测试表明P光垂直入射平均透过率为60.3%,满足系统使用要求.

主 题 词：薄膜 分光膜 逆向分析法 评价函数 相对敏感度 修正因子 电子束沉积 离子辅助沉积 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/gzxb20154403.0331002

馆 藏 号：203305056...