电子束直写制作低效取样光栅

作     者：高福华 曾阳素 谢世伟 郭永康 崔铮 GAO Fu hua 1, ZENG Yang su 1, XIE Shi wei 1, GUO Yong kang 1, CUI Zheng 2 1Physics Department of Sichuan University, Chengdu, Sichuan 610064, China 2Rutherford Appleton Laboratory, Chilton, Didcot, Oxon OX11 0QX, U.K

作者机构：四川大学物理系四川成都610064 英国卢瑟福实验室 

基　　金：国家 8 6 3高技术 80 4项目 光束控制重点实验室项目资助 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2003年第30卷第2期

页      码：134-136页

摘      要：低效取样光栅是激光取样技术的一种重要元件 ,它可以看成离轴的二相位的菲涅耳波带板。基于菲涅耳波带板的形成原理 ,对取样光栅的变周期环带结构进行了理论分析 ,推导出取样光栅的透过率函数。并在此基础上 ,采用电子束直写加工光栅掩模 ,制作取样光栅。该方法与一般的光学全息方法相比 ,具有设计灵活、重复性好、适于大批量生产等优点。

主 题 词：低效取样光栅 电子束直写 菲涅耳波带板 原理 制作方法 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0258-7025.2003.02.010

馆 藏 号：203305702...