硅压力传感器的可靠性试验方法及失效分析

作     者：齐虹 王蕴辉 易德兴 王善慈 QI Hong;WANG Yun-hui;YI De-xing;WANG Shang-ci

作者机构：信息产业部电子第四十九研究所黑龙江哈尔滨150001 信息产业部电子第五研究所广东广州510610 

基　　金：电子工业部军品预研项目资助! (B962 63 3 3 ) 

出 版 物：《传感器技术》 (Journal of Transducer Technology)

年 卷 期：2001年第20卷第4期

页      码：31-33页

摘      要：通过对一种特定结构的硅压力传感器进行动态综合应力寿命试验 ,探讨了硅压力传感器的可靠性实验方法 ;并对失效样品进行了解剖分析 ,研究了它在温度、电压和压力共同作用下的失效机理 ,分析了产品设计、工艺与可靠性的关系 ,提出了相应的改进措施。

主 题 词：可靠性 试验方法 失效模式 压力传感器 硅 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2001.04.009

馆 藏 号：203309360...