扫描隧道显微镜微动台的有限元分析与实验研究

作     者：权哲浩 林玉池 仝凌志 金日光 赵美蓉 QUAN Zhe-hao;LIN Yu-chi;TONG Ling-zhi;JIN Ri-guang;ZHAO Mei-rong

作者机构：天津大学精密测试技术及仪器国家重点试验室天津300072 金日成综合大学物理学院 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50105016) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2008年第27卷第4期

页      码：74-76,79页

摘      要：设计了一种以基于尺蠖运动原理的微动台为核心的扫描隧道显微镜(STM)机械机构,利用有限元方法对微动台部分的结构进行分析,对其静态、模态特性进行了实验研究。结果表明:微动台具有较大的行程和较好的稳定性,载物力可以达到16.7 N,最小步距约8.8 nm,行程14mm。

主 题 词：扫描隧道显微镜 微动台 压电陶瓷 尺蠖运动 有限元分析 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2008.04.024

馆 藏 号：203309360...