基于透射电子显微镜TDX-200聚光镜的热应力分析

作     者：童超 崔益民 王荣明 方进 TONG Chao;CUI Yi-min;WANG Rong-ming;FANG Jin

作者机构：北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室物理科学与核能工程学院北京100191 北京交通大学电气工程学院北京100044 

基　　金：国家科技支撑计划重大课题(2006BAK03A24) 

出 版 物：《机械》 (Machinery)

年 卷 期：2011年第38卷第10期

页      码：14-17页

摘      要：透射电子显微镜的聚光镜的作用是将电子枪发射的电子束汇聚于试样平面上,并调节试样平面处束的孔径角、束的电流密度和照明斑点半径,因此聚光镜的设计与加工是电镜照明系统制造的关键部分。以我国自主设计的TDX-200透射电子显微镜的聚光镜为研究对象,采用有限元结构分析软件ANSYS对其进行热应力分析计算,为该类型的透射电子显微镜设计和制造提供可靠数据。

主 题 词：透射电子显微镜 聚光镜 热应力 ANSYS 

学科分类：08[工学] 0825[工学-环境科学与工程类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1006-0316.2011.10.004

馆 藏 号：203310633...