微小尺寸测量中的图像处理技术

作     者：李罗生 白立芬 李庆祥 于水 何存富 

作者机构：清华大学精密仪器及机械学系 

基　　金：高等学校重点实验室访问学者基金资助项目 

出 版 物：《清华大学学报（自然科学版）》 (Journal of Tsinghua University(Science and Technology))

年 卷 期：2001年第41卷第8期

页      码：45-48页

摘      要：图像质量是影响光学显微系统微小尺寸测量精度的一个重要原因。介绍了测量系统的组成和工作原理 ,以及光学系统设计上保证成像质量的一些措施 ,探讨了提高图像质量和测量精度的方法。采用小波进行图像去噪 ,很好地去除了图像传输和存储过程中引入的高频噪声 ;为了进一步提高测量精度 ,采用同相累加平均的方法 ,滤除随机信号的影响。实验结果表明可满足超大规模集成电路线宽测量的要求 ,测量重复精度达到了 0 .0 1μm。

主 题 词：微小尺寸测量 小波变换 同相多次累积 去噪 

学科分类：0810[工学-土木类] 0711[理学-心理学类] 07[理学] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 0701[理学-数学类] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1000-0054.2001.08.012

馆 藏 号：203310845...