硅电容式压力传感器

作     者：王中文 王丽娟 WANG Zhong-wen;WANG Li-juan

作者机构：辽宁大学物理系辽宁沈阳110036 辽宁大学轻型产业学院辽宁沈阳110036 

出 版 物：《辽宁大学学报（自然科学版）》 (Journal of Liaoning University：Natural Sciences Edition)

年 卷 期：2005年第32卷第2期

页      码：131-134页

摘      要：在广泛地比较了各种设计方案产业化的难易程度的基础上,最终确定了符合现有的工艺条件、易于产品化以及与其他产品生产相兼容的最佳方案,给出了MEMS的具体的工艺流程.

主 题 词：硅电容 微机械 差压传感器 MEMS 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-5846.2005.02.011

馆 藏 号：203316322...